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----------② 智能壓力傳感器
基于 MEMS技術的智能壓力傳感器具有小型化、低成本、易集成等優(yōu)點。壓力的傳感范圍也很寬，在1kPa～100MPa 之間。可廣泛應用于微型機電系統(tǒng)、汽車、航空動力學、工藝控制和生物醫(yī)學等方面。當前智能壓力傳感器技術的研究熱點致力于減輕其敏感性和線性之間的矛盾，以提高傳感器精度[3]。美國柏恩Bourns研制的BPS140新型壓力傳感器性能穩(wěn)定，在溫度范圍為-40°C至150°C之間使用時，總誤差為2.5%FS，產(chǎn)品壽命變化為0.5%FS[4]。
③ 光學傳感器
非接觸和非破壞性測量是光學傳感器的一大優(yōu)勢，在電子產(chǎn)品檢測領域應用較多。當前CCD和CMOS圖像傳感器是兩大主流成像技術。隨著圖像傳感器技術的不斷改進，像素精度不斷提高（已經(jīng)達到5μm級別），同時對環(huán)境照度要求不斷降低。安森美推出的KAI-50140是當前市場上分辨率最高的ITCCD圖像傳感器，達到5000萬像素，具有關鍵細節(jié)成像能力和高圖像均勻性，可用于智能手機顯示屏檢測、電路板檢測和機械裝配檢測等領域。
④ RFID
RFID即射頻識別技術，俗稱電子標簽，是利用無線電信號進行自動識別特定目標并讀寫相關數(shù)據(jù)的通信技術，無需識別系統(tǒng)與特定目標之間建立機械或光學接觸。
RFID是智能識別和數(shù)據(jù)采集（AIDC）的一種方法，也是物聯(lián)網(wǎng)（IoT）的重要組成部分，可應用于生產(chǎn)線的物流管理，如物料分揀。近年來，RFID的研究熱點主要集中在數(shù)據(jù)的完整性與安全性，如提升數(shù)據(jù)識別的準確率，在獲取信息的同時保證用戶的隱私不被泄漏，以及利用RFID技術實現(xiàn)其他領域的應用，像基于RFID技術的室內(nèi)定位等。
